Ermöglicht wird das durch die sogenannte MEMS-Technologie, die mikroelektromechanische Systeme zusammen mit Aktuatoren durch Belichtung auf einem Chip integriert.
( Quelle: DLF - aus Naturwissenschaft und Technik 1999)
Sechs Aktuatoren ermöglichen sechs Freiheitsgrade, wie die Techniker sagen: Der Phaeton kann vor, zurück, nach rechts und links, rauf und runter und das Ganze noch mit Drehung bewegt werden.
( Quelle: Süddeutsche Zeitung vom 22.06.2002)