1. S Kloos, Karl Heinz Darmstadt Grundsatzuntersuchungen zum Zusammenhang zwischen Verfahrenstechnik der Abscheidung im HF-Plasma und örtli-chen Schichteigenschaften konturengetreuer Sputterschich-ten auf geometrischen Grundkörpern. ( Quelle: Jahresbericht DFG 1995）