Hochleistungs-Plasmaquellen

  1. Die ausgestellte kompakte Anlage erlaubt die Abscheidung von DLC-Filmen auf Substraten mit einem Durchmesser bis zu 12 cm. Der Einsatz von Hochleistungs-Plasmaquellen erlaubt hohe Abscheideraten. ( Quelle: OTS-Newsticker)