1. Mikrosysteme vereinigen Sensor- und Aktuatorfunktionen sowie analoge und digitale integrierte Schaltungen. ( Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998）
2. Im Geschäftsfeld Mikrosysteme will das Unternehmen den Konsolidierungskurs fortsetzen und sich von ertragsschwachen Aktivitäten lösen. ( Quelle: Süddeutsche Zeitung 1996）
3. Die TU führte neue, gestufte Studiengänge ein und bildete starke Forschungsschwerpunkte: Biotechnologie, Mikrosysteme, Wasser, Verkehr und Mobilität, Informatik und Kommunikation. ( Quelle: Berliner Zeitung vom 26.04.2002）
4. Einen Schwerpunkt bilden hierbei neue Gehäusetechniken für großflächige Mikrosysteme. ( Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998）
5. Böhm und seine Kollegen lösten dieses Problem, indem sie in den Belag der Schleifscheibe Mikrosysteme integrierten, die ihre Fühler bis an die Oberfläche der Scheibe ausstrecken. ( Quelle: Berliner Zeitung 1999）
6. Viele Mikrosysteme lassen sich auch mit mechanischen Verfahren herstellen oder aus Silizium ätzen. ( Quelle: ）