Silizium-Ätzverfahren

  1. Im Rahmen ihrer Doktorarbeit optimierte die Physikerin das Silizium-Ätzverfahren so weit, daß sie regelmäßig angeordnete Kristalle mit einem Durchmesser von etwas über zwei Mikrometern erhielt. ( Quelle: Süddeutsche Zeitung 1996)