化学气相淀积工艺

[计] chemical vapor deposition method

huà xué qì xiāng diàn jī gōng yì ㄏㄨㄚˋ ㄒㄩㄝˊ ㄑㄧˋ ㄒㄧㄤ ㄉㄧㄢˋ ㄐㄧ ㄍㄨㄥ ㄧˋ