[计] chemical vapor deposition method
huà xué qì xiāng diàn jī gōng yì ㄏㄨㄚˋ ㄒㄩㄝˊ ㄑㄧˋ ㄒㄧㄤ ㄉㄧㄢˋ ㄐㄧ ㄍㄨㄥ ㄧˋ